半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，乙烯生产，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，lsi（---集成电路）级，vlsi（---规模集成电路)级和ulsi(---规模集成电路）级。
近几年来，智研数据研究中心随着我国---规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，乙烯，电子特种气体的国产化已是---。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，乙烯多少钱，高纯四---碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。
电子气体主要包括：、、乙、---、硒---、、四---碳、化三氢、、---化硼、三氟---、三---氮、、六、六---钨、六---硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六---硫、电子级、、磷烷使用较多。
高纯气
气是第二轻的稀有气体，在放电管里它发红色-橙色的光。气的制冷量比液---高40倍，比液氢高三倍。对比起---气来在大多数情况下它是一种比较廉价的冷却液。在所有稀有气体中气的放电在同样电压和电流情况下是---的。
这些大的钢铁厂可以生产纯气，有的也是附属生产的---混合气，纯度不高。
---混合气终是通过技术提取，提取成高纯气。
像武钢、邯钢、首钢等一些大的钢铁厂都可生产纯气及---混合气。
厂家分享气体混合物的典型用途用于。一种混于空气中的低浓度被用于肺的扩散实验。氧气与不同百分含量的---的混合物，可用于---分析气体分析器的校准。、氧化亚氮和某些化学性质活泼的气体，能单独和作为混合物用来作用。
用于核技数。0.95%异---与---的混合物和1.3%的---与---的混合物都被人们用来作盖格计数管用气体。0.4%异---与---的混合气和10%的---与的混合物都用作比例计数器用气体。
用于电子元件的制造。含微量掺杂物化三氢，或等的气体。例如：氢气、---气、气或氮气等气体，乙烯批发，用来制造硅半导体。高度净化的氨的混合物用来作渗氮用。，无论是纯的还是在混合物中都可用于硅的沉积。和上述混合气之一相似的混合气体、若化三氢和的含量高，通常用来制造稼半导体。
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