工业----中原海-潜江---

半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，---密度，可分为电子级，lsi（---集成电路）级，---厂家，vlsi（---规模集成电路)级和ulsi(---规模集成电路）级。    

           近几年来，工业---，智研数据研究中心随着我国---规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是---。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四---碳“有价无货”时代也宣告结束，潜江---，高纯已成功打开。

电子气体主要包括：、、乙、---、硒---、、四---碳、化三氢、、---化硼、三氟---、三---氮、、六、六---钨、六---硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.

其中六---硫、电子级、、磷烷使用较多。

因为六---硫sf6高压电器设备的内部气体湿度是经由人为来进行操控的，这也导致设备内部的气体含水量比较低。内部的水蒸汽气压低，但---中水蒸汽气压却相对---。在这样的高温又高湿的条件之下，水分子便会自动从高压区往低压区进行渗透。外界的气温越高且相对湿度越大，那么内外水蒸汽的气压差也就会越大，从而也导致了---中的水分透过设备的密封薄弱环节进入到设备的可能性也就越大。因为六---硫的分子直径为4.56×10-10m，水分子的直径为3.2×10-6m，六---硫分子为球状，水分子是细长棒状，那么在内部外部水分气压差比较大的时候，水分子便易于进到六---硫的设备的内部。